Esametildisilazano

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Esametildisilazano
Dettagli
L'esametildisilazano (HMDS, esametil disilazano, CAS 999-97-3) è un composto di organosilicio volatile, incolore — formula C₆H₁₉NSi₂, struttura (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Disponibile in grado industriale (maggiore o uguale al 98,0%), farmaceutico (maggiore o uguale al 99,5%) ed elettronico (5N, maggiore o uguale al 99,999%), HMDS è il promotore di adesione e primer standard del settore nella litografia a semiconduttore, un agente sililante chiave nella sintesi API farmaceutica, un agente idrofobizzante per la silice pirogenica e il precursore essenziale di LiHMDS, NaHMDS e Basi KHMDS. Forniamo prezzi HMDS competitivi con imballaggi sigillati con azoto.
Classificazione del prodotto
Prodotti chimici elettronici
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Descrizione

Intermedio organosilicico · Agente sililante

Esametildisilazano (HMDS)

(Bis(trimetilsilil)ammina / HMDS anidro)

N. CAS 999-97-3
Nome IUPAC 1,1,1,3,3,3-esametildisilazano
Sinonimi HMDS, esametildisilazano, 1,1,1,3,3,3-esametildisilazano, bis(trimetilsilil)ammina, esametilsilazano, N-(trimetilsilil)trimetilsililamina
Formula molecolare C₆H₁₉NSi₂ [(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃]
Peso Molecolare 161,39 g/mol
Codice SA 2931900090
Grado disponibile Industriale Farmaceutico Elettronico (5N / 6N)

Cos'è l'esametildisilazano (HMDS)? Una panoramica

Esametildisilazano (HMDS), scritto anche comeesametildisilazanoO1,1,1,3,3,3-esametildisilazano(CAS 999-97-3), è un composto di organosilicio incolore e altamente volatile con un caratteristico odore simile all'ammoniaca.Modulo completo HMDS:Esametildisilazano - un nome che riflette la sua struttura di due gruppi trimetilsililici collegati da un atomo di azoto:(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Questa esclusiva architettura del disilazano consente un'efficiente sililazione di gruppi funzionali protici (idrossile, ammino, carbossile) e un'eccezionale idrofobizzazione superficiale, rendendo HMDS un reagente chimico insostituibile nelle industrie di litografia di semiconduttori, sintesi farmaceutica, materiali avanzati e trattamento superficiale.

A differenza degli agenti sililanti tradizionali come il trimetilclorosilano (TMCS), HMDS offre condizioni di reazione più blande, una resa di sililazione più elevata e vantaggi critici per la-generazione di prodotto - significativamente inferiori per la produzione di fascia alta-dove sono richieste rigorose purezza e pulizia del processo. L'HMDS reagisce rapidamente con l'umidità rilasciando ammoniaca, quindi tutti i gradi devono essere maneggiati e conservati sotto protezione di azoto.

Collaboriamo con i principali produttori cinesi - tra cui strutture certificate da SMIC e Yangtze Memory - per fornire HMDS di grado industriale, farmaceutico ed elettronico a prezzi competitivi, con imballaggi flessibili, dai fusti di reagenti al grammo- ai contenitori IBC industriali, servendo acquirenti in Europa, Nord America, Sud-Est asiatico e Medio Oriente.

Proprietà fisiche e chimiche degli HMDS

Punto di ebollizione
125–127 gradi
(a 760 mmHg)
Punto di infiammabilità (tazza chiusa)
17 gradi
altamente infiammabile
Punto di fusione
−78 gradi
liquido a temperatura ambiente
Densità (20 gradi)
0,774 g/cm³
più leggero dell'acqua
Indice di rifrazione
1.408
(ND 20 gradi)
Pressione di vapore (20 gradi)
~17mmHg
altamente volatile
Reattività dell'acqua
Reattivo
idrolizza → NH₃ + HMDO
Aspetto
Liquido incolore
odore di ammoniaca-simile
Temp. di-accensione automatica.
~260 gradi
è richiesto uno spazio di archiviazione-a prova di esplosione
Domande e risposte sulle proprietà chiave L'HMDS è infiammabile?Sì - L'HMDS è classificato come altamente infiammabile (punto di infiammabilità 17 gradi). Conservare e maneggiare lontano da qualsiasi fonte di accensione in strutture-a prova di esplosione. |L'HMDS è solubile in acqua?No - HMDS reagisce con l'acqua e l'aria umida, idrolizzandosi in esametildisilossano (HMDSO) e ammoniaca. Tutti i gradi devono essere mantenuti rigorosamente anidri. |Qual è la formula HMDS?C₆H₁₉NSi₂, formula strutturale (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃, peso molecolare 161,39 g/mol. |L'HMDS è tossico?L'HMDS è dannoso per inalazione, contatto con la pelle e ingestione. È classificato come acutamente tossico (Categoria 4 dal GHS). SDS/MSDS completa disponibile su richiesta. |Cos'è il pKa dell'HMDS?Il pKa dell'acido coniugato (HMDS·H⁺) è circa 30 in THF, rendendo HMDS una base moderatamente forte ampiamente utilizzata nella sintesi organica per la formazione di enolato e le reazioni di deprotonazione.

Specifiche HMDS - Tutti i gradi

Specifica Grado industriale
Trattamento superficiale/riempitivi
Grado farmaceutico
Sintesi dei farmaci (GMP)
Grado elettronico
Litografia a semiconduttore
Purezza (GC) Maggiore o uguale al 98,0% Maggiore o uguale al 99,5% Maggiore o uguale al 99,999% (5N)
fino a 6N per i nodi avanzati
Contenuto d'acqua Inferiore o uguale allo 0,1% Inferiore o uguale allo 0,02% Inferiore o uguale a 0,005% (Inferiore o uguale a 50 ppm)
Colore (Pt-Co) Inferiore o uguale a 30 Minore o uguale a 10 Minore o uguale a 5
Punto di ebollizione 125–127 gradi 126,0–126,5 gradi 126,2 ± 0,2 gradi
Punto d'infiammabilità 17 gradi (tazza chiusa) 17 gradi (tazza chiusa) 17 gradi (tazza chiusa)
Impurità metalliche Non specificato Ione singolo Inferiore o uguale a 10 ppm Ione singolo Inferiore o uguale a 1 ppb
(livello ppt per nodi da 14 nm)
Durata di conservazione 6 mesi (N₂-sigillato) 12 mesi (N₂-sigillato, scuro) 18 mesi (ultra-pulito N₂-sigillato)
Confezione Fusto in acciaio da 180 kg
Cassone IBC da 1.000 kg
Fusto in HDPE da 20 litri
Fusto in acciaio sigillato da 200 litri N₂-
Fusto rivestito in quarzo-da 10 litri
Fusto in acciaio ultra-pulito da 200 litri

Conforme a GB/T 30301-2013, REACH e TSCA. COA, SDS/MSDS e rapporti di test di terze parti disponibili su richiesta.

Usi e campi di applicazione HMDS

1. Litografia a semiconduttore - Promotore di adesione del fotoresist

HMDS è lo standard-del settorepromotore di adesione, primer e agente di rivestimento idrofobonella litografia di wafer di silicio, che rappresenta oltre40% del consumo totale di HMDS. Applicato come primer in fase vapore- (VPP) prima del rivestimento di fotoresist, HMDS reagisce con i gruppi idrossilici superficiali (Si–OH) sul wafer per formare uno strato denso di trimetilsilile idrofobo. Ciò migliora notevolmente l'adesione del fotoresist, previene il distacco del resist durante lo sviluppo ed elimina la formazione di cordoni sui bordi - garantendo un'accurata modellazione del circuito fino aNodi da 28 nm e inferiori.

Man mano che i nodi semiconduttori avanzati progrediscono fino a 14 nm, 7 nm e oltre, i requisiti di purezza sono aumentati fino aGradi 5N (99,999%) e 6N, con impurità metalliche controllate a livello ppb-ppt. I nostri prodotti HMDS di livello elettronico- utilizzano una tecnologia avanzata per la rimozione di tracce di metallo, soddisfacendo gli standard di qualificazione dei principali stabilimenti, tra cui SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory e UMC.

Riferimento:Standard SEMI - Purezza dei materiali semiconduttori ↗

2. Industria farmaceutica - Agente sililante per la sintesi di farmaci

Nella sintesi farmaceutica, l'HMDS è ampiamente utilizzato come aagente sililanteper proteggere i gruppi funzionali protici reattivi (–OH, –NH₂, –COOH) negli intermedi farmacologici, prevenendo reazioni collaterali indesiderate e migliorando significativamente la selettività della reazione e la resa del prodotto target. È un reagente chiave nella sintesi di ingredienti farmaceutici attivi (API) anti-tumorali, antivirali e antiallergici.

Il nostro HMDS di grado farmaceutico- (purezza maggiore o uguale al 99,5%, compatibile con GMP-) è stato convalidato dalle principali aziende CDMO farmaceutiche e fornisce una qualità batch stabile, essenziale per la ricerca e sviluppo di farmaci e la produzione su-scala su larga scala.

Riferimento:Farmacopea degli Stati Uniti (USP) ↗

3. Materiali e trattamento superficiale - Agente di idrofobizzazione

HMDS è altamente efficaceagente idrofobizzanteper riempitivi inorganici come silice pirogenica e biossido di titanio. La modifica superficiale con HMDS migliora significativamente la compatibilità della matrice riempitiva nei compositi in gomma siliconica e resina epossidica, migliorando le proprietà meccaniche (tenacità, resistenza alla trazione) e la resistenza agli agenti atmosferici. È ampiamente utilizzato nei materiali di incapsulamento degli OLED e nel trattamento del vetro dei moduli fotovoltaici, dove le superfici modificate con HMDS- mostrano prestazioni di barriera contro l'umidità notevolmente migliorate, prolungando la durata in ambienti esterni difficili.

Pertrattamento superficiale del vetro, della ceramica e dei metalli, HMDS forma una pellicola idrofobica densa, legata in modo covalente, che impedisce l'assorbimento di umidità e la corrosione.

Riferimento:PubChem - Esametildisilazano (NIH) ↗

4. Chimica analitica e chimica fine

Nella chimica analitica, HMDS viene utilizzato come areagente di derivatizzazioneper analisi GC di composti protici (alcoli, fenoli, acidi carbossilici). I derivati ​​sililati presentano una maggiore volatilità e una migliore separazione cromatografica, consentendo un'analisi quantitativa precisa di sostanze in tracce in matrici complesse.

Nella chimica fine, l'HMDS funge da intermedio per tensioattivi siliconici di fascia alta-e resine siliconiche utilizzate nei prodotti chimici quotidiani e nella stampa tessile. Si prevede che il mercato HMDS di livello elettronico- crescerà a un CAGR del 18,3% fino al 2026, spinto dall'accelerazione della localizzazione dei semiconduttori e dall'espansione della capacità CDMO farmaceutica.

Riferimento:Registrazione REACH ECHA - HMDS ↗

5. HMDS come base - LiHMDS, NaHMDS e KHMDS

Oltre al suo ruolo di agente sililante, l'HMDS è un precursore chiave delle basi metalloammidi ampiamente utilizzate:LiHMDS(litio esametildisilazide, litio bis(trimetilsilil)ammide),NaHMDS(esametildisilazide di sodio) eKHMDS(esametildisilazide di potassio). Queste basi forti e impedite sono reagenti essenziali nella sintesi farmaceutica e chimica fine per la formazione selettiva di enolati, deprotonazione diretta e reazioni asimmetriche in cui la massa sterica e la chemoselettività sono fondamentali.

LiHMDS(CAS 4039-32-1) è il più utilizzato, apprezzato per la sua elevata basicità (pKa ~30 in THF) e l'eccellente solubilità in solventi eterei.NaHMDSEKHMDSoffrono una reattività crescente e vengono utilizzati laddove LiHMDS non è sufficientemente reattivo. Tutti e tre sono realizzati utilizzando HMDS come materiale di partenza principale, rendendo la fornitura di HMDS ad elevata purezza-fondamentale per la loro produzione.

Forniamo HMDS ad alta-purezza adatti come materia prima per la produzione di LiHMDS, NaHMDS e KHMDS. Contattaci per le specifiche di massa.

Come è fatto l'HMDS? Processo di produzione

L'HMDS viene prodotto commercialmente attraverso due percorsi principali. Il tradizionaleProcesso di ammonolisi del clorosilanoreagisce il trimetilclorosilano (TMCS) con l'ammoniaca in eccesso: 2 (CH₃)₃SiCl + NH₃ → (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + 2 HCl. Il sottoprodotto HCl viene neutralizzato e il prodotto grezzo purificato mediante rettifica a più stadi. Un'alternativatecnologia di transaminazione verdeutilizza esametildisilossano (HMDSO) e ammoniaca in condizioni catalitiche, riducendo i sottoprodotti del cloruro-e l'impatto ambientale.

I nostri produttori partner gestiscono linee di produzione continua di ammonolisi con rettifica multi-stadio e sistemi di purificazione ad adsorbimento con setacci molecolari, garantendo una purezza costante da lotto a lotto per tutti i gradi.

Conservazione, stabilità e gestione della sicurezza HMDS

⚠️ NOTA CRITICA SULLA SICUREZZA:HMDS lo èaltamente infiammabile(punto di infiammabilità 17 gradi) e reagisce violentemente con l'acqua liberando ammoniaca. Conservare e maneggiare esclusivamente in ambienti protetti dall'azoto-e a prova di esplosione-. Non utilizzare acqua per estinguere gli incendi HMDS.

Requisiti di archiviazione

Conservare in un luogo fresco (0–25 gradi), asciutto e ben-ventilatomagazzino-a prova di esplosionelontano da fonti di calore, fiamme libere e luce solare diretta. Tutti gli imballaggi devono essere sigillati con azoto-per isolare l'umidità e l'aria. - L'HMDS si idrolizza rapidamente a contatto con l'umidità ambientale. Grado industriale: fusti in acciaio sigillati con azoto-. Gradi farmaceutici ed elettronici: fusti ultra-puliti rivestiti con azoto-sigillato in HDPE o quarzo- (imballaggio pulito ISO 14644 per il grado elettronico). Separare da ossidanti e acidi forti con una separazione minima di 20-piedi o con una barriera ignifuga di 30-minuti-. Pila massima: 2 strati per fusti in acciaio da 180 kg. Dotare il magazzino di illuminazione antideflagrante ed estintori a polvere secca o CO₂.

Nota sulla stabilità

L'HMDS è chimicamente stabile se conservato asciutto e sotto azoto. L'esposizione all'umidità provoca l'idrolisi; l'esposizione ad acidi forti o ossidanti può causare reazioni violente. Evitare l'esposizione prolungata a temperature superiori a 30 gradi per prevenire la volatilizzazione accelerata.

Sicurezza e gestione (riepilogo SDS/MSDS)

DPI richiesti:Indumenti anti-statici, guanti in gomma nitrilica (triplo-strato per operazioni ad alto-rischio), occhiali protettivi per sostanze chimiche, maschera facciale e respiratore per vapori organici (SCBA per spazi confinati). Non mangiare, bere o fumare durante le operazioni.

Risposta allo sversamento:Tagliare immediatamente le fonti di ignizione, evacuare sopravento. Isolare l'area della fuoriuscita. Assorbire con sabbia asciutta o carbonato di sodio - NON usare acqua. Trasferire il materiale assorbito in contenitori sigillati per lo smaltimento. Non scaricare nelle fogne o nel suolo.

Primo soccorso:Pelle - rimuovere gli indumenti contaminati, lavare con acqua e sapone per un tempo maggiore o uguale a 15 minuti. Occhi - sciacquare con acqua per un tempo maggiore o uguale a 15 minuti, consultare un medico. Inalazione - spostarsi immediatamente all'aria aperta. L'ingestione - non induce il vomito; cercare assistenza medica di emergenza. PDF completo della scheda SDS/MSDS disponibile presso il nostro team di vendita.

Prezzo HMDS - 2025 Riferimento di mercato

ILPrezzo HMDS(prezzo dell'esametildisilazano) varia in modo significativo in base al grado di purezza, alle specifiche di imballaggio e al volume dell'ordine. Di seguito sono riportati i prezzi di riferimento indicativi per il 2025 per i prodotti di origine cinese-(franco-fabbrica):

Grado industriale
Maggiore o uguale al 98,0%
2.050–3.430 USD
per tonnellata
Grado farmaceutico
Maggiore o uguale al 99,5%
4.800–6 USD,860
per tonnellata
Grado elettronico
Maggiore o uguale al 99,999% (5N)
10.970–16.440 USD
per tonnellata
Suggerimenti per i prezzi in blocco:Gli ordini superiori a 50 MT in genere beneficiano di uno sconto del 5–10%; 200+ I contratti MT/anno possono consentire risparmi del 10-15%. La consegna tramite autocisterna riduce-il trasporto unitario dell'8-12% rispetto all'imballaggio in fusti. I contratti a lungo-termine (1-3 anni) includono l'assegnazione prioritaria della fornitura durante le stagioni di punta della domanda di semiconduttori.Richiedi un preventivo personalizzato HMDS →

Domande frequenti su HMDS

D: Cosa significa HMDS? Che cos'è la forma completa HMDS?

HMDS sta perEsametildisilazano- il nome chimico completo è 1,1,1,3,3,3-esametildisilazano, scritto anche come esametil disilazano. In chimica, HMDS si riferisce specificamente a questo composto di organosilicio (CAS 999-97-3) con la struttura (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Nota: "HMDS" è utilizzato anche come abbreviazione in campi non correlati (ad esempio, contesti medici, militari o agricoli), ma nei contesti di produzione di chimica e semiconduttori, HMDS significa invariabilmente esametildisilazano.

D: A cosa serve l'HMDS nella produzione di semiconduttori?

L'HMDS viene utilizzato come promotore di adesione in fase vapore- (primer) applicato alle superfici dei wafer di silicio prima del rivestimento del fotoresist. Reagisce con i gruppi Si–OH superficiali per formare un monostrato idrofobo di trimetilsilile, che migliora notevolmente l'adesione del fotoresist, previene la delaminazione durante lo sviluppo a umido e garantisce l'accuratezza dimensionale dei modelli di circuiti fini. Si tratta di un materiale di processo standard praticamente in ogni fabbrica di wafer di silicio a livello globale, dalle linee di litografia legacy EUV da 200 mm-all'avanguardia da 300 mm.

D: Qual è la differenza tra HMDS di grado industriale e HMDS di grado elettronico?

Il grado industriale (maggiore o uguale al 98,0%) è adatto per il trattamento superficiale di riempitivi (silice pirogenica, TiO₂), rivestimenti e applicazioni generali di sililazione in cui il contenuto di tracce di metalli non è critico. Il grado elettronico (maggiore o uguale a 99,999%, 5N) richiede impurità metalliche individuali inferiori a 1 ppb - obbligatorio per la litografia a semiconduttore dove la contaminazione metallica inferiore a -ppb potrebbe causare guasti al dispositivo. Electronic Grade è confezionato in condizioni ultra-pulite ISO 14644 in fusti di acciaio ultra-pulito rivestiti di quarzo-o certificati, con ogni lotto accompagnato da un report completo ICP-MS sulle tracce di metalli.

D: Perché l'HMDS reagisce con l'acqua e come dovrebbe essere conservato?

HMDS contiene un legame Si–N–Si che è altamente suscettibile all'idrolisi: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. L'ammoniaca rilasciata crea un aumento di pressione nei contenitori sigillati e l'esametildisilossano (HMDSO) risultante contamina il prodotto. Tutti i gradi devono quindi essere conservati sotto azoto secco in contenitori sigillati, a 0–25 gradi, lontano da qualsiasi fonte di umidità. I contenitori aperti devono essere immediatamente risigillati-e ricoperti di azoto dopo ogni utilizzo.

D: Cos'è HMDS e in cosa differisce da HMDSO?

HMDS (esametildisilazano, CAS 999-97-3) contiene un collegamento Si–N–Si ed è il reagente sililante attivo. HMDSO (esametildisilossano, CAS 107-46-0) contiene un collegamento Si–O–Si ed è il sottoprodotto dell'idrolisi di HMDS: è molto meno reattivo. L'HMDS è utilizzato come modificatore chimico della superficie e reagente di sililazione; HMDSO viene utilizzato principalmente come fluido siliconico non reattivo e materia prima per la sintesi HMDS. I due non devono essere confusi quando si specificano i materiali per la litografia o i processi farmaceutici.

D: Quali certificazioni dovrei richiedere a un fornitore HMDS?

Per applicazioni industriali: ISO 9001 (gestione della qualità) e ISO 14001 (ambientale). Per il settore farmaceutico: conformità GMP, capacità di fornire COA con riferimento a USP/EP-e report QC di terze parti-. Per la qualità elettronica: conferma della qualificazione della fabbrica di semiconduttori a valle (ad es. certificazioni SMIC, UMC), conformità agli standard SEMI F47 o materiali equivalenti, report completo ICP-MS sulle tracce di metalli per lotto e imballaggio pulito certificato ISO 14644. Tutti i gradi dovrebbero portare le registrazioni REACH e TSCA attuali per l'esportazione internazionale.

D: Cosa succede quando HMDS reagisce con l'acqua?

L'HMDS reagisce rapidamente con l'acqua tramite idrolisi: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH → (CH₃)₃Si–O–Si(CH₃)₃ + NH₃. I prodotti sono esametildisilossano (HMDSO) e ammoniaca. Questa reazione è esotermica e genera gas di ammoniaca, che crea pressione nei contenitori sigillati e degrada la purezza del prodotto. Questo è il motivo per cui tutti i gradi HMDS - compresi quelli industriali - devono essere conservati e maneggiati sempre sotto azoto secco. Anche l'umidità ambientale può avviare una lenta idrolisi durante periodi di conservazione prolungati.

D: Quali sono le principali alternative all'HMDS e quando è preferibile l'HMDS?

Le alternative più comuni agli agenti sililanti includono trimetilclorosilano (TMCS), N-metil-N-trimetilsililacetammide (MSA) e N,O-bis(trimetilsilil)acetammide (BSA). L'HMDS è preferito quando sono richieste condizioni di reazione blande (nessun sottoprodotto HCl-), quando un'elevata resa di sililazione è critica o quando il processo richiede una contaminazione minima da sottoprodotti acidi o corrosivi - rendendolo la scelta standard per il trattamento dei wafer semiconduttori e la sintesi farmaceutica. Per l'idrofobizzazione industriale di massa in cui il costo è il fattore principale, la TMCS può essere utilizzata come alternativa a costi inferiori-.

Riferimenti e standard di settore

🔬
PubChem - Esametildisilazano (CAS 999-97-3) · NIH ↗
Proprietà fisico-chimiche complete, dati tossicologici, classificazioni GHS e informazioni normative.
🏭
Standard SEMI - Specifiche dei materiali di processo dei semiconduttori ↗
Ente internazionale per la standardizzazione delle specifiche di purezza dei materiali semiconduttori e dei protocolli di qualificazione.
📋
Registrazione ECHA - REACH per esametildisilazano ↗
Dossier ufficiale REACH dell'UE: classificazioni dei pericoli, scenari di esposizione e stato normativo.
⚗️
MilliporeSigma (Merck) - Grado di riferimento del reagente HMDS ↗
Autorità globale per i reagenti analitici e di elevata purezza-; standard di riferimento per il benchmarking della qualità HMDS.

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